簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "周賢鎧".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="氮化鉭"


  • 在搜尋的結果範圍內查詢: 搜尋 展開檢索結果的年代分布圖

  • 個人化服務

    我的檢索策略

  • 排序:

      
  • 已勾選0筆資料


      本頁全選

    1

    Cr/Ta2N/Si(100)之界面反應研究
    • 機械工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 林彥佑 指導教授: 鄭偉鈞
    • 摘 要 本研究探討氮化鉭薄膜於鉻/氮化鉭/矽之系統中,其鉻/氮化鉭/矽界面微結構及反應,期望對氮化鉭薄膜於金屬鉻的阻障層作用有更進一步的了解。 研究採用12英吋Si(100)晶圓為基板,以濺…
    • 點閱:195下載:3
    1